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■超聲波頻率低，為28KHZ，清洗能力強勁，適合金屬零部件的清洗；

■采用人機界面，操作方便簡單；

■PLC控制，自動化程度高

■采用全自動單臂機械手提移，運行平穩、可靠、準確度高。

■采用上、下拋動助洗，更有利于硅片快速均勻清洗。

■采用逐級高精度過濾，保證洗液干凈。

■采用即時加熱器供應熱純水，結合純水慢拉，實現硅片快速脫水。

■采用隧道凈化熱風干燥，確保屏蔽罩干燥。

■采用采用國際先進本多換能器，震力強，均勻；

■采用華達超聲數顯發生器，功能齊全，自動化程度高；

■槽體均為SUS316不銹鋼板，耐腐蝕，壽命長；

■采用投入式超聲波震板，超聲能量衰減少，維護方便；

■采用高純水逐極溢流，純水浪費少，

■采用伺服電機，運行速度快，平穩；

■采用SUS304不銹鋼方通，外包PP板；

■采用多頻率，清洗徹底！

■采用外置機械手，不會污染清洗液；

■設有進出料臺，上下料非常方便；

■歐姆龍數顯溫控，控溫精確；

機器規格：
根據不同客戶的要求訂做各種規格的清洗機清洗烘干線：尺寸，功率，款式，單槽，多槽，手動 ，全自動， 噴淋，烘干等清洗設備。