產品特點
三軸直驅式結構
結構緊湊、亞微米級精度
XY軸氣浮結構
Z軸楔形平升結構
根據需求可定制
高柔線纜管理系統
應用領域
三軸精密運動臺中的XY軸為氣浮結構，Z軸為楔形平升結構，外觀結構緊湊，用于飛秒激光加工，基因測序，光學檢測和微光刻技術等行業。
結構特點
XY軸為開式氣浮，永磁預載結構，十字疊層具有體積小，精度高等特點，能有效降低減小阿貝誤差影響。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。Z軸直驅楔形平升結構，無絲桿、聯軸器等中間傳動裝置，提高了結構模態和整定性能，三軸結構緊湊，同時優化了系統剛度。
精度性能
XY軸氣浮運動臺的定位精度±50nm，雙向重復定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Roll Yaw ±0.5arc
sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±0.05μm，直線度±1.5μm。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm。行程也可接受定制。
規格指標
|
型號Model
|
單位Units
|
QFL-25-25-5XX
|
QFL-50-50-5XX
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
Z
|
X
|
Y
|
Z
|
|
行程Travel
|
mm
|
25
|
25
|
5
|
50
|
50
|
5
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.02
|
—
|
±0.05
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.05
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±5
|
—
|
±7.5
|
—
|
|
高精版Plus
|
±20
|
±30
|
±40
|
±30
|
|
普通版Standard
|
±30
|
±75
|
±75
|
±75
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.01
|
—
|
±0.01
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.025
|
±0.05
|
±0.05
|
±0.05
|
|
普通版Standard
|
±0.05
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.05
|
—
|
±0.05
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±1.5
|
±0.25
|
±1.5
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.05
|
—
|
±0.1
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
—
|
±0.35
|
—
|
|
偏擺(1)
Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.25
|
±3
|
±0.35
|
±3
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±7.5
|
±1
|
±7.5
|
|
俯仰、翻滾(1)
Pitch Roll
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.25
|
±1.5
|
±0.35
|
±1.5
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±5
|
±1
|
±5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1,≤5（選配）
|
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3)
|
mm/s
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
3
|
3
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFL-75-75-5XX
|
QFL-100-100-5XX
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
Z
|
X
|
Y
|
Z
|
|
行程Travel
|
mm
|
75
|
75
|
5
|
100
|
100
|
5
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.05
|
—
|
±0.05
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
普通版Standard
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±7.5
|
—
|
±7.5
|
—
|
|
高精版Plus
|
±40
|
±30
|
±40
|
±30
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±75
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.01
|
—
|
±0.01
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.05
|
±0.05
|
±0.05
|
±0.05
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.05
|
—
|
±0.05
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±1.5
|
±0.25
|
±1.5
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.1
|
—
|
±0.1
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
—
|
±0.4
|
—
|
|
偏擺(1)
Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.35
|
±3
|
±0.4
|
±3
|
|
普通版Standard
|
±1
|
±7.5
|
±1
|
±7.5
|
|
俯仰、翻滾(1)
Pitch Roll
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.35
|
±1.5
|
±0.4
|
±1.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
±5
|
±1
|
±5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1,≤5（選配）
|
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3)
|
mm/s
|
100
|
50
|
200
|
50
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
3
|
3
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFL-125-125-5XX
|
QFL-150-150-5XX
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
Z
|
X
|
Y
|
Z
|
|
行程Travel
|
mm
|
125
|
125
|
5
|
150
|
150
|
5
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.05
|
—
|
±0.05
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
普通版Standard
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±7.5
|
—
|
±10
|
—
|
|
高精版Plus
|
±40
|
±30
|
±40
|
±30
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±75
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.01
|
—
|
±0.015
|
—
|
|
高精版Plus
|
±0.05
|
±0.05
|
±0.05
|
±0.05
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.1
|
—
|
±0.1
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.4
|
±1.5
|
±0.4
|
±1.5
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
—
|
±0.15
|
—
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
—
|
±0.5
|
—
|
|
偏擺(1)
Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.4
|
±3
|
±0.5
|
±3
|
|
普通版Standard
|
±1.5
|
±7.5
|
±1.5
|
±7.5
|
|
俯仰、翻滾(1)
Pitch Roll
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.4
|
±1.5
|
±0.5
|
±1.5
|
|
普通版Standard
|
±1.5
|
±5
|
±1.5
|
±5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1,≤5（選配）
|
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3)
|
mm/s
|
200
|
50
|
200
|
50
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
3
|
3
|
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
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