|
產品特點
SiC導軌，超高性能精度
重復定位精度±15nm
平面式氣浮結構，減小系統誤差影響
剛度比鋁合金導軌提高了5倍
龍門式雙驅結構，承載能力強
高速，快速的整定時間
可選激光尺、干涉儀位置反饋
優化后的線纜管理系統
應用領域
QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優化碳化硅結構和優化的氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提高動態性能，用于晶圓曝光、大尺寸飛秒激光加工、刻劃光柵及無圖形晶圓缺陷檢測等行業。
結構特點
QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材質，具有非常好的剛度，是鋁制結構的5倍，熱膨脹系數降低了約5倍，利用有限元分析優化碳化硅導軌結構，使設備達到高速運動而沒有犧牲動態跟蹤幾何性能和熱穩定性。新型氣浮軸承補償方式，極大提高系統的剛度和穩定性。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅動，交叉解耦控制算法提供雙驅軸的運動同步性能，氣浮導軌實現無摩擦、無振動地平滑移動，由于非接觸式結構，伺服反饋的跟隨誤差有了質地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用帶屏蔽的高柔排線，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能。同時適用無塵車間。
定制化
根據應用可安裝轉臺或晶圓裝卸用的夾具。可選用激光尺或激光干涉儀閉環反饋，提升精度性能。
規格指標
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-300-300
|
QFDHSiC-300-500
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
300
|
300
|
300
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.15
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.1
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-300-700
|
QFDHSiC-300-1000
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
300
|
700
|
300
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.4
|
±0.15
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.75
|
±0.25
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.15
|
±0.4
|
±0.15
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.25
|
±0.75
|
±0.25
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.1
|
±0.75
|
±0.1
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-350-350
|
QFDHSiC-350-500
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
350
|
350
|
350
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.2
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-350-700
|
QFDHSiC-350-1000
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
350
|
700
|
350
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.4
|
±0.2
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.2
|
±0.4
|
±0.2
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.2
|
±0.75
|
±0.2
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-400-400
|
QFDHSiC-400-500
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
400
|
400
|
400
|
500
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±50
|
±50
|
±100
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
±75
|
±150
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±3
|
±3
|
±7.5
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±10
|
±10
|
±20
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±5
|
±5
|
±10
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±15
|
±15
|
±30
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.45
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.35
|
±0.45
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.3
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
±0.5
|
±1
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFDHSiC-400-700
|
QFDHSiC-400-1000
|
|
軸系Axis(1)
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
400
|
700
|
400
|
1000
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
高精版Plus
|
μm
|
±50
|
±150
|
±50
|
±200
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±200
|
±75
|
±300
|
|
單向重復定位精度(2)
Uni-Repeatability
|
高精版Plus
|
nm
|
±3
|
±15
|
±3
|
±40
|
|
普通版Standard
|
±10
|
±40
|
±10
|
±75
|
|
雙向重復定位精度(2)
Bi-Dir Repeatability
|
高精版Plus
|
μm
|
±5
|
±20
|
±5
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±15
|
±60
|
±15
|
±100
|
|
直線度(3)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.4
|
±0.25
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.75
|
±0.35
|
±1
|
|
平面度(3)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.4
|
±0.25
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.35
|
±0.75
|
±0.35
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(3)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.3
|
±0.75
|
±0.3
|
±0.8
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±1.5
|
±0.5
|
±2
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(4)
|
nm
|
0.1, 0.3（選配）
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5)
|
m/s
|
2
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(6)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
注：
以上為單軸精度指標，測試點在負載板上25mm處，測試環境，請咨詢我們。
1. X軸為橫梁軸，Y軸為雙驅龍門軸，行程可根據需求定制；
2. 重復定位精度≤ ±10nm，需要加激光尺或雙頻干涉儀和長條反射鏡做反饋；
3. 取決于平臺安裝表面的平面度；
4. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數，電子分辨率≤0.1nm，需要用干涉儀做反饋；
5. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小；
6. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）
7. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
|
在線咨詢 
