| Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0 |
 |
價格： 元(人民幣) | 產地：愛爾蘭 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：上海 | |
| 上架時間：2025-07-14 10:42:05 | 瀏覽量：120 | |
上海歐橋電子科技發(fā)展有限公司
 |
||
| 經營模式：貿易公司 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè)：電子產品制造設備 | 主要客戶： | |
 在線咨詢  |
||
| 聯系人:何 (先生) | 手機:13819194783 |
電話: |
傳真: |
| 郵箱:ouqiao.hz@ouqiao.com | 地址: |
|
Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0 品牌：Impedans 型號：Octiv Suite 2.0  公司介紹： Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域，包括半導體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。 Impedans的技術優(yōu)勢在于其先進的測量方法和高精度的數據采集能力，這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質量的傳感器和測量設備，Impedans在多個工業(yè)領域中贏得了良好的聲譽。  產品介紹： Octiv Suite 2.0 VI探頭是市場上*先進的射頻傳感器，用于在線功率和阻抗測量，具有無*比的精度和功能。以1%的真實精度，可以自信地建立腔室間的匹配和過程可重復性。該傳感器專為先進的研發(fā)和實時過程監(jiān)測而設計。它將Octiv Mono的脈沖監(jiān)測功能和Octiv Poly的諧波頻譜功能與先進的功能相結合，如重建時域RF電壓和電流波形，在數字化過程中使用專有的諧波相位解卷積技術，使離子通量的實時監(jiān)測成為可能，當與工藝基板串聯安裝時。獨特的是，該傳感器允許過程電極作為平面朗繆爾探針發(fā)揮次要作用，從而能夠確定等離子體密度和電子溫度。 主要特點 在單個傳感器上選擇5個頻率，同時測量多個頻率。 通過我們先進的校準方法，50Ω和非50Ω阻抗的精度無*比。 傳感器運行重復性（<0.1%）能夠真實測量等離子體過程漂移。 單頻和多頻電壓和電流波形顯示。 離子通量監(jiān)測能力與蝕刻和沉積速率直接相關。 諧波相位輸出的基波，端點檢測的關鍵參數。 所有這些都可用于脈沖射頻，包括時間分辨模式（1微秒分辨率）和脈沖趨勢模式。 主要優(yōu)勢和應用 在高功率下在線，性能相當于網絡分析儀和示波器的組合。 使用等離子體阻抗和諧波譜分析的高級端點功能。 以比多元OES端點檢測器更高的靈敏度檢測蝕刻端點（<1%開口面積）。 離子通量、等離子體密度和電子溫度的實時輸出是可能的（見柏拉圖探針）。 通過實現故障檢測和早期干預，可以獲得顯著的成本效益。 USB、以太網、EtherCAT和串行通信協議，具有易于使用的API進行集成。      相關型號： Octiv Mono 2.0 Octiv Poly 2.0 Octiv Suite 2.0 |
| 版權聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責。機電之家對此不承擔任何責任。 友情提醒：為規(guī)避購買風險，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質及產品質量。 |
