| 程控的擴(kuò)散爐 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：青島 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：青島 | |
| 上架時(shí)間：2024-09-30 08:17:40 | 瀏覽量：14 | |
青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶：企業(yè) | |
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擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工的硅 片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、 控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。 擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： 可處理硅片尺寸：2—12英寸 外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) 工作溫度：200℃—1300℃ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h 溫度斜變：可控升溫速率15℃／min 可控降溫速率：5℃／min 送片裝置：手動(dòng)推拉 氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 氣體控制：手動(dòng)浮子流量計(jì) 控制方式：程控 |
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