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RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺

產品特點

直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

旋轉軸行程±90°*360°（AB軸）

XYZ交叉滾柱導軌，納米級定位紋波

AB軸氣浮轉臺，亞微米跳動誤差

優化線纜管理系統

結構、行程可定制

應用領域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺用于曲面飛秒激光加工。

產品簡介

XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動及光柵尺閉環反饋，XY軸平面式結構，最大限度降低高度，減小系統誤差影響；此外XY軸可定制抱閘功能，抱閘位置漂移可控制在10nm內。

Z軸直驅力矩電機驅動，交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋，獲得納米級定位紋波；

AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環反饋，閉式氣浮結構，對結構進行優化設計，氣浮軸承表面和創新的預壓高剛度，側向放置承載能力大，解決氣浮抱死的問題。優秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態分析，優化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。

規格指標

軸系 Axis	測試項目 Test Items	單位 Units	指標Specification
X 軸 X AXIS	行程 Travel	mm	200
	補償后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直線度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±2
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
Y 軸 Y AXIS	行程 Travel	mm	200
	補償后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直線度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±2
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
A 軸 A AXIS	行程 Travel	°	±90
	補償后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	軸向跳動誤差 Axial Error Motion	μm	0.2
	徑向跳動誤差 Radial Error Motion	μm	0.2
	工作速度 Operating Speed	°/s	40
B 軸 B AXIS	行程 Travel	°	360
	補償后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	軸向跳動誤差 Axial Error Motion	μm	0.2
	徑向跳動誤差 Radial Error Motion	μm	0.2
	工作速度 Operating Speed	°/s	40
Z 軸 Z AXIS	行程 Travel	mm	150
	補償后定位精度 Accuracy	μm	±0.3
	雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直線度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±1
	工作速度 Operating Speed	mm/s	50
XYAB	負載 Load	kg	1
Z	負載 Load	kg	20

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