| QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：北京 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：北京順義區 | |
| 上架時間：2024-04-23 15:12:29 | 瀏覽量：197 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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產品特點 開式氣浮疊層結構 結構緊湊、精度高 重復定位精度±50nm 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm 根據需求可定制 高柔線纜管理
應用領域 QFL-XY系列是一款結構緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業，由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
結構特點 雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預載結構，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。非接觸式氣浮結構，免維護運行，隨著時間推移，不會出現磨損或性能下降。
精度性能 QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結構，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理 使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統抗干擾能力。
定制化 根據應用，結構可定制化設計，如增加平升或楔形Z軸，轉臺等？膳渲么罄硎、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動隔振系統，適合高抖動的應用領域。 規格指標
注： 以上為單軸精度指標，在潔凈恒溫間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm高度處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。 1. 取決于平臺安裝表面的平面度。 2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。 3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載。 4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。 5. 無特殊項目要求，出廠默認為準。 |
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