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RBZ-SG系列精密Z軸

產品特點

垂直平升行程可達50mm，整體尺寸結構緊湊，速度可達50mm/s，最大負載60kg

高精度交叉滾柱導軌，無槽無刷力矩電機，低膨脹系數光柵有助實現納米級微動步距

高可靠性驅動機構，使用壽命長

應用領域

RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。

結構特點

RBZ-SG系列直驅結構，承載能力大，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能低的高度，優化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。

直驅結構

力矩電機作為直驅方式，沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動，相對側升結構Z軸，無需轉接板，負載重心布置在Z軸中心，有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。

光柵閉環反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋，直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式，直接測量工件移動時的誤差，提高了精度性能。

規格指標

型號 Model		單位 Units	RBZ-10SG	RBZ-15SG	RBZ-20SG	RBZ-25SG
行程 Travel		mm	10	15	20	25
補償后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15
補償后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.075
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直線度 (1) Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直線度 (1) Straightness	普通版 Standard	μm	±3	±3	±3	±4
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5
偏擺 (1) Yaw	高精版 Plus	arc sec	±2	±2	±2	±2
偏擺 (1) Yaw	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5
電子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1, ≤ 5（選配）
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3)		mm/s	10
最大負載 Max Load		kg	20			40

型號 Model		單位 Units	RBZ-30SG	RBZ-35SG	RBZ-45SG	RBZ-50SG
行程 Travel		mm	30	35	45	50
補償后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15
補償后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直線度 (1) Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75
直線度 (1) Straightness	普通版 Standard	μm	±4	±4	±5	±5
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±2.5	±3.5	±3.5
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±7	±7
偏擺 (1) Yaw	高精版 Plus	arc sec	±2	±2	±3	±3
偏擺 (1) Yaw	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±7	±7
電子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1, ≤ 5（選配）
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3)		mm/s	10		50
最大負載 Max Load		kg	40		60

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，普通版振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度5mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。

4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。

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