產品特點
氣浮導軌，超高性能精度
重復定位精度±15nm（SiC版）
平面式氣浮結構，減小系統誤差影響
350mm行程直線度優于1μm
高速，快速的整定時間
可選光柵或激光尺位置反饋
龍門式雙驅結構，承載能力強
優化后的線纜管理系統
應用領域
QFHDS系列平面式氣浮運動臺，采用有限元分析優化的氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提高動態性能，用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業。
結構特點
QFHDS系列龍門平面氣浮采用小孔節流和多孔氣浮相結合的方式，極大提高系統的剛度和穩定性。平面式氣浮結構，使XY軸運動結構共面，反饋光柵尺在同一個水平面，相當于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結構具有高速響應頻率及位置穩定性，開發的獨特氣浮結構，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現高速運動和快速的位置整定。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅動，交叉解耦控制算法提供雙驅軸的運動同步，氣浮導軌實現無摩擦、無振動地平滑移動，亞微米精度滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結構，伺服反饋的跟隨誤差有了質地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質量的無塵線纜，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內使用。
定制化
根據應用可安裝轉臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導軌可定制陶瓷材質，重復定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環反饋，提升精度性能。
規格指標
|
型號Model
|
單位Units
|
QFHDS-200-200
|
QFHDS-300-300
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
200
|
200
|
300
|
300
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.05
|
±0.1
|
|
高精版Plus
|
±0.1
|
±0.15
|
|
普通版Standard
|
±0.3
|
±0.3
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±15
|
±15
|
|
高精版Plus
|
±50
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.02
|
±0.02
|
|
高精版Plus
|
±0.075
|
±0.075
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±0.1
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.25
|
±0.25
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.5
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.4
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.75
|
±0.75
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(1)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.5
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±1
|
±1
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
2
|
|
普通版Standard
|
5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1, ≤5（選配）
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)
|
m/s
|
1
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(4)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFHDS-350-350
|
QFHDS-400-400
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
350
|
350
|
400
|
400
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.1
|
±0.1
|
|
高精版Plus
|
±0.2
|
±0.2
|
|
普通版Standard
|
±0.4
|
±0.5
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±20
|
±20
|
|
高精版Plus
|
±50
|
±50
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±75
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.025
|
±0.025
|
|
高精版Plus
|
±0.075
|
±0.1
|
|
普通版Standard
|
±0.1
|
±0.15
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.3
|
±0.4
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.75
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.5
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.75
|
±0.75
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(1)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±0.75
|
±1
|
|
普通版Standard
|
±1.25
|
±1.5
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
2
|
|
普通版Standard
|
5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1, ≤5（選配）
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)
|
m/s
|
1
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(4)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFHDS-500-500
|
QFHDS-750-750
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
500
|
500
|
750
|
750
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.1
|
±0.15
|
|
高精版Plus
|
±0.2
|
±0.3
|
|
普通版Standard
|
±0.5
|
±0.75
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±20
|
±25
|
|
高精版Plus
|
±50
|
±75
|
|
普通版Standard
|
±75
|
±100
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.025
|
±0.03
|
|
高精版Plus
|
±0.1
|
±0.1
|
|
普通版Standard
|
±0.15
|
±0.15
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.4
|
±0.5
|
|
普通版Standard
|
±0.75
|
±1
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±0.5
|
±0.75
|
|
普通版Standard
|
±0.75
|
±1
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(1)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±1
|
±1.5
|
|
普通版Standard
|
±1.5
|
±2
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
2
|
|
普通版Standard
|
5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1, ≤5（選配）
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)
|
m/s
|
1
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(4)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
|
型號Model
|
單位Units
|
QFHDS-1000-1000
|
QFHDS-1200-1200
|
|
軸系Axis
|
—
|
X
|
Y
|
X
|
Y
|
|
行程Travel
|
mm
|
1000
|
1000
|
1200
|
1200
|
|
補償后定位精度
Accuracy
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.25
|
±0.4
|
|
高精版Plus
|
±0.5
|
±0.75
|
|
普通版Standard
|
±1
|
±1.25
|
|
單向重復定位精度
Uni-Repeatability
|
超精版Ultra
|
nm
|
±50
|
±75
|
|
高精版Plus
|
±100
|
±120
|
|
普通版Standard
|
±120
|
±150
|
|
雙向重復定位精度
Bi-Dir Repeatability
|
超精版Ultra
|
μm
|
±0.05
|
±0.075
|
|
高精版Plus
|
±0.15
|
±0.2
|
|
普通版Standard
|
±0.2
|
±0.25
|
|
直線度(1)
Straightness
|
高精版Plus
|
μm
|
±1
|
±1.25
|
|
普通版Standard
|
±2
|
±2.5
|
|
平面度(1)
Flatness
|
高精版Plus
|
μm
|
±1.25
|
±1.5
|
|
普通版Standard
|
±2
|
±3
|
|
俯仰、翻滾、偏擺(1)
Pitch Roll Yaw
|
高精版Plus
|
arc sec
|
±2
|
±2.5
|
|
普通版Standard
|
±2.5
|
±3
|
|
正交性
Orthogonality
|
高精版Plus
|
arc sec
|
2
|
|
普通版Standard
|
5
|
|
電子分辨率Electronic Resolution(2)
|
nm
|
≤ 1, ≤5（選配）
|
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3)
|
m/s
|
1
|
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3)
|
m/s?
|
5,（10, 20, 30定制）
|
|
最大負載Max Load
|
kg
|
50
|
|
供氣壓力Operating Pressure(4)
|
MPa
|
0.5±0.05
|
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度；
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數；
3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小；
4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
5. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
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