| 美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì) |
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美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì) 南京金倍得科技發(fā)展有限公司優(yōu)惠供應(yīng)美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì)。 美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學(xué)、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。 產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器。 典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。 設(shè)計(jì)特點(diǎn): -剛性金屬結(jié)構(gòu) -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm -最大壓力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦氣 -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 -可傾斜的LCD讀表 -0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出 -電路保護(hù) -可用作便攜式的設(shè)備 -0到100%比例顯示 -可配備流量計(jì)算機(jī) |
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