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產品名稱：PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列

產品型號：PGF

產品介紹

具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內的粒子，同時實現高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）

性能特點

●對于亞微米LSI工藝，須向使用點供應高純度工藝氣體。為此，超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求，Pureron Japan開發了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器，并在穩定條件下實現了0.003μm的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。

●去除諸如水和氧的雜質對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質，高溫烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個角度開發的，可以在200°C下進行高溫烘烤。通過免維護操作降低成本。

●三層過濾結構，取決于顆粒直徑的大小，很少產生堵塞。與傳統過濾器相比，陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此，生產停工造成的損失很小，實現了長期成本降低。

選型指南

可選功能與配件

過濾烘烤：200°C，2小時

金屬帽

對于PGF-8型大流量，請聯系我們。

技術參數

去除率：0.003μm

建議流速：10 ? 200L/min.

20℃時的設計壓力：17MPa（2465PSIG）

正常工作壓力：小于1MPa（145PSIG）

20℃時允許壓差：max.9.6MPa（1392PSIG）

連續使用溫度：max.120℃

烘烤溫度：200℃

外部泄漏量：2×10?11Pa?立方米/秒（He）以下 （或更少）

結構要素

外殼：SUS316L內面粗度

粗糙度：Rmax0.7μm以下 （或更少）

元件：氧化鋁陶瓷、Al2O3

密封：PTFE

接頭：1/4”、3/8”、1/2”、3/4”墊片密封、壓縮密封等

產品尺寸

上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。為緊跟工業科技發展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優勢。

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