| 圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2022-08-11 15:35:13 | 瀏覽量：67 | |
上海衡鵬實業(yè)有限公司
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圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂 圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂特點： 超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列 適用于半導體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運 全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢 機械手臂標準臂長:160mm, 200mm 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達距離 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離) 升降軸行程 300mm / 400mm / 500mm 可搬運質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 4軸圓柱坐標潔凈機械手臂/5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂 |
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