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AWM42150VH 氣體流量傳感器描述

• 操作微橋質量氣流傳感器根據傳熱理論操作。質量氣流穿過傳感元件的表面。輸出電壓隨空氣質量或通過包裝進出口的其他氣體流量而成比例變化。特殊設計的外殼***地引導和控制通過微結構傳感元件的氣流。微橋質量氣流傳感器采用***微結構技術，具有***的硅芯片。它由一個薄膜，熱隔離橋梁結構，包含加熱器和溫度傳感元件。橋結構對芯片上的空氣或其他氣體的流動提供了靈敏和快速的響應。位于中央加熱元件兩側的雙傳感元件指示流向和流速。激光修整的厚膜和薄膜電阻器提供了從一個設備到另一個設備的一致互換性。，微橋質量氣流傳感器使用沉積在氮化硅薄膜內的溫度敏感電阻器。它們以兩座橋的形式懸掛在硅的蝕刻腔上。芯片位于***尺寸的氣流通道中，以提供可重復的氣流響應。通過刻蝕流量傳感器橋下的空腔空間，實現了加熱器和傳感電阻的高效熱隔離。微橋質量空氣流量傳感器的小型化和熱隔離使其對流量的響應速度和靈敏度極高。雙惠斯通橋控制氣流測量——一個提供閉環加熱器控制，另一個包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質量流量成比例的輸出，將環境溫度變化引起的位移減至***小。該電路將加熱器溫度保持在高于環境空氣溫度的恒定溫差（160°C），該溫差由芯片上的熱沉電阻器感測。設備的比率電壓輸出與惠斯通電橋電路上的差分電壓相對應。，注意可能導致某些應用的灰塵污染的影響可以***小化。根據設計，氣流中可能存在的粉塵顆粒將平行于芯片表面流過芯片。此外，微結構芯片會產生熱泳效應，使微米大小的灰塵顆粒遠離橋接結構。，一個簡單的過濾器可以防止灰塵粘附在芯片邊緣和通道表面。在大多數應用中，可通過在氣流裝置上游側串聯使用的5微米一次性過濾器實現充分過濾，警告產品損壞AWM系列微橋質量空氣流量傳感器不是設計用于感測液體流量的，并且會被流經傳感器的液體流量損壞。不遵守這些說明可能會導致產品損壞。

AWM42150VH 氣體流量傳感器產品詳細信息

• 放大流量傳感器 AWM40000 系列 AWM40000 系列質量流量傳感器系列基于經驗證的微橋技術，且包括放大的信號調節設備和僅非放大的傳感器設備。
  使用非放大的設備（AWM42150VH 和 AWM42300V）時，需要符合規格的加熱器控制電路和感應橋接電源電路以進行操作。
  這兩種電路不含在板載傳感器上，因此必須在應用中提供。
  差分放大器電路非常適合提供輸出增益和/或產生傳感器輸出電壓偏置。
  放大設備（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高輸出增益和產生電壓偏置。
  差分儀器放大器電路、加熱器控制電路和感應橋接電源電路均在板載放大傳感器中提供。
  特點和優勢 ? 歧管安裝/O 形環密封 ? 陶瓷流量管（非脫氣性），0 至 1000 sccm ? 高共模壓力（***150 psi 陶瓷流量管） ? 工作溫度高達 125°C ? 零標度和全標度高穩定性 產品應用信息 ? 減震器控制用于加熱、通風和空調系統 ? 氣體分析儀 ? 低真空控制 ? 過程控制 ? 醫療呼吸器和通風機 ? 氧氣濃縮器 ? 泄漏檢測設備 ? 通氣罩 ? 麻醉控制 ? 氣體計量 ? 氣體色譜分析

AWM42150VH 氣體流量傳感器技術參數