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新一代單晶硅壓力變送器

國內壓力變送器變革歷程

上世紀三線建設時期的60年代至70年代，工業企業在廣大中西部遍地開花，當時工業變送器已經開啟國產化，大量使用力平衡式DDZ-Ⅱ型、DDZ-Ⅲ型變送器，相比新一代單晶硅壓力變送器，精確度很低，性能穩定性差，故障率高。

伴隨改革開放80年代國門打開，西安彼表廠與美國羅斯蒙特公司合作，生產出1151系列變送器，開啟國外變速器進入中國市場先例，隨后日本富士FC系列、日立EDR/EPR系列變送器由上海自動化儀表一廠、蘭煉儀表廠、大連儀表廠引進生產。

90年代更多外國品牌進入中國。四川儀表總廠與橫河公司合資生產EJA系列變送器;ABB公司與中國威爾泰公司合作，生產MV2000T智能變送器;日本富士與浙大中控儀表公司合作生產CXT變送器;西門子、德國E+H、ABB等公司也都在中國建立了變送器生產線。

壓力變送器發展速度很快，基本上十年革新一次，上述三個時代，大體可以劃分為模擬、智能和現場總線三代產品。

新一代單晶硅壓力變送器特點

新一代單晶硅壓力變送器，其單晶硅是硅的單晶體，具有金剛石晶格，采用切、磨、拋、光刻、鍵合、膜屏蔽等先進的工藝技術和流程，對敏感元件加工。產品優勢顯著。

卓越的抗干擾能力。立格單晶硅壓力變送器全隔離封裝，將單晶硅敏感元件絕緣安裝在傳感器膜盒內部，具有避免測量和環境溫度變化、電氣干擾、機械振動的影響。

出色的高頻響應能力。單晶硅本身屬性，固有諧振頻率超過500Hz，壓力傳遞到敏感元件上，立即被感應被轉換為信號輸出，整體響應時間不超過5mS，適合高頻動態場合應用。

強大抗過載能力。立格單晶硅壓力變送器具有雙過載保護技術，中心膜片和隔離膜片組成雙過載保護。縱然壓力過載，獨特的結構也不會讓填充液再傳遞給敏感元件，從而實現過載保護。并且恢復正常后不影響測量。

高精度傳輸。傳感器模塊化結構，所有計算數據均保留于傳感器膜盒內部自帶內存中，在后續生產和維修時，變送模塊讀取內存數據，能實現高精度輸出。

單晶硅壓力變送器與電容壓力變送器和擴散硅壓力變送器的優勢

曾經流行的傳統電容壓力變送器，雖然各彼表廠努力改進性能，一度因為選用選用性價比高的隔離型變送模塊，備受市場矚目。主要從改良金屬電容抗干擾能力，可惜與外部短接的結構缺陷，無法徹底改變。全隔離的單晶硅傳感器在抗干擾方面優勢巨大。

相對用戶規模大的經濟型擴散硅壓力變送器，單晶硅壓力變送器在微差壓狀態下，其優勢顯示出一騎絕塵之勢。在現場工況環境苛刻的背景下，單晶硅壓力變送器優勢不容替代。是流程工業領域壓力變送器革新性產品。