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精密型 小型臺式等離子清洗機 FEMTO 德國原裝進口
精密型 小型臺式等離子清洗機 FEMTO 德國原裝進口 價格:面議  元(人民幣) 產地:德國
最少起訂量:1 發貨地:德國
上架時間:2020-07-23 15:33:00 瀏覽量:139
旭阿科技(上海)有限公司  
經營模式:貿易型 公司類型:私營獨資企業
所屬行業:科學儀器/實驗儀器 主要客戶:高校科研,半導體工廠
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詳細介紹

精密型 小型臺式等離子清洗機 FEMTO 德國原裝進口 


清洗: 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發生化學反應從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。
           如:去除有機污染物,去除納米級微粒,去除氧化層。



活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會在表面形成氧原子團,這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。
           如:PDMS鍵合,粘接前的預處理,涂裝前的預處理,印刷前的預處理。


蝕刻:工藝部件表面通過特定氣體達到精確濺射,表面材料被剝離,轉變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數可使材料表面蝕刻出一定的形狀。
            如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。




涂層:使工藝部件表面發生等離子聚合反應,前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發生聚合反應,形成聚合物層。
           如:疏水層,親水層,保護/阻隔層,干潤滑層,疏油層。




FEMTO參數

  

主要技術參數:

1.    全自動控制

2.    *根據工藝要求不同,可設定功率、壓強、氣體流量,時間等參數

3.    單路工作氣體,氣體流量通MFC流量計控制

4.    反應艙為不銹鋼,?100 mm*L278mm,容積約為2.2L

5.    射頻頻率13.56MHz,功率0~100W

6.    電極材質為鋁/不銹鋼

7.    運行模式為手動

8.    真空泵的排氣能力為4m3/Hour,配有強制進氣閥

9.    *配有壓力傳感器,可根據工藝要求設定壓力值

10. 外尺寸:W310*D420*H330mm

11. 電源電壓:單相AC230V 16A



     可根據用戶工藝選擇合適的配置,有可選大腔體。



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