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等離子清洗機 高校科研專用 10.5L腔體  ATTO  德國原裝進口 DIENER   清洗/活化/蝕刻/涂層

清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。
如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
如：PDMS鍵合，粘接前的預處理，涂裝前的預處理，印刷前的預處理。

蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。
如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應，前驅(qū)單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應，形成聚合物層。
如：疏水層，親水層，保護/阻隔層，干潤滑層，疏油層。

ATTO具體參數(shù)：

配置可選：主要技術參數(shù)：

1.    手動控制

2.    *根據(jù)工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量等參數(shù)

3.    雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量控制

4.    反應艙為高硼硅玻璃，Φ 211 mm、長 300 mm，容積10.5L

5.    發(fā)生器頻率13.56MHz,功率0~200W

6.    反射波自動調(diào)節(jié)，無須手工調(diào)節(jié)

7.    電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼

8.    運行模式為手動

9.    真空泵的排氣能力為8.0m3/Hour，國產(chǎn)飛越真空泵

10.   *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設定壓力值

11.   外尺寸：寬 425 mm、高 275 mm、深 450 mm

12.   電源電壓：單相AC230V 16A