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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級

熱電阻（RTD）組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器

（RMG）。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用

于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降

。
????根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質(zhì)量流量Q有確定的

數(shù)學(xué)關(guān)系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣

體質(zhì)量流量計(jì)獨(dú)特的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)測量

煤氣流量時(shí)因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點(diǎn)漂移，導(dǎo)致無法測量的弊端。

它也可以用于測量濕氣體的質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量（

速）的實(shí)時(shí)檢測。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器靈敏度簡介
????熱式質(zhì)量流量計(jì)利用發(fā)熱體（加熱器）和流體（氣體）之間的熱傳遞現(xiàn)象來進(jìn)行流

量測量。
????由于氣體種類的不同，熱物性也不相同，因此傳感器的靈敏度也各不相同，用于修

正各種氣體的靈敏度差異的系數(shù)稱為轉(zhuǎn)換因子，要用于其流量計(jì)已校準(zhǔn)的氣體以外的種

類的氣體時(shí)，務(wù)必用轉(zhuǎn)換因子乘以輸出來修正
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)分類
????熱式質(zhì)量流量計(jì)根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種：
????1.接觸式熱式質(zhì)量流量計(jì)
????這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸

，常被稱為托馬斯流量計(jì)，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量，由于加熱及測量元件與被測

流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測

量高流速、有腐蝕必的流體時(shí)不宜選用，這就是接觸式的缺點(diǎn)。
????2.非接觸式熱式質(zhì)量流量計(jì)
????這種流量計(jì)的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了

接觸式的缺點(diǎn)。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)缺點(diǎn)
????1.優(yōu)點(diǎn)
????熱式質(zhì)量流量計(jì)可測量低流速（氣體0.02～2m/s）微小流量，浸入式熱式質(zhì)量流量

計(jì)可測量低～中偏高流速（氣體2～60m/s）,插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。
????熱式質(zhì)量流量計(jì)無可活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小

，帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也

不大。
????熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器

，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障率小。
????氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為

常數(shù)。
????2.缺點(diǎn)
????.熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)迅速；
????.被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會有較大變化而

產(chǎn)生誤差；
????.對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當(dāng)熱量；
????.對于熱分布式熱式質(zhì)量流量計(jì)，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定

期清洗對細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用；
????.對脈動流在使用上將受到限制；
????.液體用熱式質(zhì)量流量計(jì)對于粘性液體在使用上亦受到限制