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真空熱處理工藝目前來說主要指的是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，其中，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空等，所以，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理中的一種。

真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，真空熱處理可以實現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量可以說是得到了大大提高。

與常規熱處理相比，真空熱處理加工技術可同時實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

在應用方面真空熱處理也是非常廣泛的。

首先，在加工行業，一些零件經真空熱處理后，畸變小，質量高，且工藝本身操作靈活，無公害。因此真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段，而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應用，特別是工具、模具和精密耦件等，經真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。例如某些模具經真空熱處理后，其壽命比原來鹽浴處理的高40～400%，而有許多工具的壽命可提高3～4倍左右。此外，真空加熱爐可在較高溫度下工作，且工件可以保持潔凈的表面，因而能加速化學熱處理的吸附和反應過程。因此，某些化學熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲都能得到更快、更好的效果。

其次，國內研究工作者在真空碳、氮共滲技術方面也取得了較大的發展。采用真空碳、氮共滲技術不僅極大地擴大了能夠被處理的材料范圍，同時還能有效減少材料變形，這使得產品質量和性能得到了較大的提高。目前市面上已經有了各個類型的具備真空碳、氮共滲功能的熱處理設備，并且已經在零件的熱處理領域取得了不錯的應用成效。

第三，在民用市場領域，針對該技術的研究和應用推動了我國金剛石制造技術的進步。該技術在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發揮了重要作用，通過采用此項技術使得產品磁性能得到了明顯提高，而產品矯頑力卻得到了顯著降低。
 
除以上介紹到的技術外，將電磁技術與真空熱處理技術相結合而誕生的真空磁場熱處理技術也是該領域發展的一個重要分支，通過應用這項技術，既能夠提高結構材料的力學性能，同時也對提高磁性材料的電磁性能具有重大效果。

  總而言之，我國在真空熱處理技術方面經歷了從引進到消化、吸收的各個發展階段，并且在近年來已經邁入了自主研發的階段。近年來，我國真空熱處理技術發展迅速，工藝水平不斷成熟，各種自產設備在性能和質量上取得了巨大的突破，已經完全可以滿足相關領域的應用需求。