| 成都鑫南光供應(yīng) g-43型光刻機 簡易光刻機 品質(zhì)好 質(zhì)量優(yōu) 光刻機廠家 |
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價格:95000 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
| 最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
| 上架時間:2019-04-08 22:49:17 | 瀏覽量:102 | |
成都鑫南光機械設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式:其他 | 公司類型:生產(chǎn)型 | |
| 所屬行業(yè):水利機械設(shè)備 | 主要客戶:全國 | |
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| 聯(lián)系人:康楠 () | 手機:17713626490 |
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| 郵箱:962914468@qq.com | 地址:中國四川省成都市雙流縣 成都市蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路3座 查看地圖 |
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型號 g-43型 用途 適用進行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等 別名 簡易曝光機 尺寸 650*450*1500m 規(guī)格 g-43 類型 接觸式曝光 品牌 鑫南光 加工定制 是 詳細(xì)說明 一 、設(shè)備概述: g—43型光刻機是根據(jù)市場需求研發(fā)的產(chǎn)品,通常情況下為φ4"(按用戶要求最大可做到φ6",但設(shè)備價格不同),對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對多種材料的基片進行光刻。它特別適用進行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺,如果基片厚度≤2mm,承片臺都能實現(xiàn)“真空密著”曝光,加之光均勻性好(φ100mm范圍內(nèi)≤±6%),所以大大提高光刻質(zhì)量。 二、主要技術(shù)參數(shù): 1. 操作方式:手動。 2. 曝光模式:接觸式曝光。 3. 曝光面積φ4"。 4. 紫外光源:g線(436nm)或i線(365nm) 5. 實現(xiàn)“真空密著”曝光,(通過調(diào)整真空度能實現(xiàn)硬接觸、軟接觸或微力接觸曝光)。但基片厚度≤2mm。 6. 分辨率:微米級,<10um 7. 可以為用戶制作具有預(yù)定位機構(gòu)的專用承片臺,片對版的預(yù)定位精度≤±0.1mm。 8. 曝光頭用燈為gcq200w型超高壓直流球形**燈. 9. 樣品尺寸:100mm。 可以通過調(diào)節(jié)承片臺相對于曝光頭距離來實現(xiàn)恒光強曝光,也可以通過調(diào)節(jié)直流**燈電流大小來改變光強。 三、結(jié)構(gòu)簡介: g—43型光刻機主要由以下部份組成: 1、多點光源曝光頭: 曝光燈采用gcq200w型超高壓直流球形**燈,紫外光源:g線(436nm)或i線(365nm)非常有利于光刻,光的均勻性很好,不均勻性測量在φ100mm范圍內(nèi)≤±6%,冷卻方式為風(fēng)冷(內(nèi)裝排風(fēng)扇)。 在該機底座上裝有歐姆龍公司生產(chǎn)的時間繼電器,0~999.9秒內(nèi)控制曝光快門。 **燈隨使用時間增長而逐漸老化,照度逐漸降低,用戶可改變承片臺高度,而保持恒光強,也可改變**燈電流大小保持恒光強。 2、電器控制系統(tǒng): 1) 打開電源開關(guān)(面板上標(biāo)“電源”開關(guān)),此時**燈自然打開,指示**燈亮,接上真空源,快門被關(guān)上,待**燈亮度正常后(一般需要15分鐘以上),可以進行下一步的操作。 2) 放基片到任一承片臺上(注意放基片的位置和方向),按與該承片臺相應(yīng)的按鈕進行“真空吸片”,然后放掩膜版到基片上(當(dāng)然也要注意版放的位置和方向),按相應(yīng)的真空“密著”按鈕,調(diào)整密著真空大小,使版、片在大氣壓作用下緊密貼合好,然后將承片臺放到可以升降的臺上,調(diào)整好你所需的曝光時間,按“曝光”按鈕進行曝光。 機電之家網(wǎng)廠家成都鑫南光機械設(shè)備有限公司為您提供成都鑫南光供應(yīng) g-43型光刻機 簡易光刻機 品質(zhì)好 質(zhì)量優(yōu) 光刻機廠家的詳細(xì)產(chǎn)品價格、產(chǎn)品圖片等產(chǎn)品介紹信息,您可以直接聯(lián)系廠家獲取成都鑫南光供應(yīng) g-43型光刻機 簡易光刻機 品質(zhì)好 質(zhì)量優(yōu) 光刻機廠家的具體資料,聯(lián)系時請說明是在機電之家網(wǎng)看到的。 |
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