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徠卡工業檢驗金相顯微鏡DM3 XL

高效檢驗 6"樣品
檢驗、過程控制或缺陷和故障分析全部與速度相關：任何缺陷都有可能使生產陷入癱瘓；您需要一臺顯微鏡來幫助團隊盡快且盡可能準確地檢測缺陷。
DM3 XL 檢驗系統助您節省檢驗時間。充分利用獨特的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。DM3 XL為中等預算用戶提供高端品質，因為您沒有時間去妥協。

更多細節盡收眼底，工作更高效
看到更多細節意味著工作更高效。DM3 XL 檢驗系統提供獨特的物鏡，可快速掃描最大 6" 的組件。放大倍率為 0.7x 的宏觀物鏡能夠即刻采集 35.7 mm 的視場—比可用的掃描物鏡寬敞 30%。通過常規掃描物鏡看不見的區域在宏觀概覽下無所遁形：晶片邊緣或中心

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明：明場、暗場、微分干涉相襯 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。因此，您

始終可以看到相同顏色的樣品，獲得可復制的結果。憑借長達 35,000 小時的使用壽命和低能耗，LED 還具有巨大的成本節省潛能，并優化公司的碳排放。

>在所有亮度等級下實現真彩色成像

>自由調節

>沒有更換燈泡導致的停機時間

LED 照明—“恒定”光照

>超亮、高功率 LED 照明

> 4500 K 恒定色溫

>在所有亮度等級下實現真彩色成像

>使用壽命長 (35k h)，8 小時/天 = 20 年

>自由調節

>無停機時間 (燈泡更換)

>適用于明場 (BF)、暗場 (DF)、微分干涉相襯 (DIC)、偏振 (POL)

熒光 (FL) 和斜射照明

>不產生熱量

>亮度感知高于 100 W 鹵素燈泡

徠卡高性能物鏡

徠卡工業檢驗金相顯微鏡DM3 XL讓您以實惠的價格享受到專業的光學特性，

例如斜射照明或深暗場對比。

>通過斜射照明檢查側面、邊緣或碎屑

>使用深暗場物鏡查看最小的顆粒

>符合國際標準

斜射照明非常理想地適用于側面、邊緣或碎屑檢查。它可以幫助您從不同的角度照亮樣品，是簡單有效的形貌可視化方法—即使是由于抗蝕劑殘留物導致的透明形貌也能得到理想的照明。

深暗場對比的靈敏度大幅提升—尤其適用于檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。此外，暗場物鏡的大工作距離還可以保護珍貴樣品，避免其在檢驗中意外受損。當然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE 等國際規范和標準。

操作人員控制更簡單

采用人體工學設計的顯微鏡改進的不只是舒適度—它們在減輕肌肉勞損的同時，還有助于提高生產率。即使經過較長的工作時間,DM3 XL 依然支持您的團隊交付優結果。

適用于特殊樣品需求的不同載物臺插件

無論您要檢查哪種尺寸和類型的樣品，DM3 XL 均可為您提供不同的載物臺插件選擇—金屬插件、晶片支座或掩模支座。為了便于找到載物臺上的樣品，150 mm x 150 mm 載物臺可幫助用戶進行快速的粗略或精準載物臺定位。

滿足多種需求的軟件解決方案

選擇專用軟件模塊來升級您的 DM3 XL，為您的應用提供全程指導。LAS X 軟件可提供高品質解決方案，尤其是在需要高樣品通量的環境下。蒙太奇模塊通過創建高品質擴展焦點圖像來增加通量；多級模塊可自動采集并輕松存儲從拼接圖像創建的 2D 圖像。使用圖像分析模塊，在采集、檢測和測量特性及顆粒的過程中實現自主引導；并通過交互式測量模塊使用豐富的測量手段。