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如圖所示，螺桿真空泵內裝有一對平行的螺旋狀的轉子（1和2），其中一件轉子的旋轉方向為右旋，另一件為左旋。兩個轉子在泵體（9）內通過一對齒輪（3）保持同步反向旋轉。轉子與轉子之間、轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了密封腔（4），密封腔的個數等于轉子的螺旋圈數。兩個轉子在按圖中方向旋轉時，與吸氣口（5）相連的密封腔的空間逐漸變大，氣體被吸入并被傳送到排氣側，排氣側的密封腔（6）空間在旋轉過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口（7）。長時間運轉時需向泵體及端蓋的夾套（8）內通入適量的冷卻水以對泵進行冷卻。因壓縮熱主要在排氣側（6）產生，為了充分冷卻轉子，在多數工況下可以將適量的空氣或其它合適的氣體通過摻氣口（10）導入泵腔內。

螺桿真空泵特點：

1、對被抽系統無污染，可獲得潔凈真空。

2、泵腔內無油，非常容易實現對溶劑的回收或者排入焚燒爐內焚燒。

3、結構緊湊，占地面積小。

4、單泵即可達到40Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較寬。

5、因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環境無污染。

6、對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環水即可滿足要求，且冷卻水量較小。

7、根據系統工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機組，可大大提高低壓區的抽氣速率并減小功耗。

8、螺桿真空泵的級間無需通道，是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側，在抽除9、可凝性氣體及粉塵等時不易堵塞且泵腔清洗非常方便。

10、螺桿真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性氣體。