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二、性能優勢

1）排氣路徑短，減少反應物沉積

獨有的螺旋方式將多級轉子直接串聯，取消了中間隔板結構，無中間級吸排氣過程，工作過程簡單連續，效率高，泵運行穩定性高。干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現象。

2）線形密封性佳，接觸磨損小

泵腔內各零部件采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，壽命長；對少量小顆粒粉塵不敏感，且泵腔直通，粉塵不易在泵腔內沉積。采用防爆裝置可用于抽除易燃易爆的氣體。

3）工作腔潔凈無油，無污染

工作腔內無油氣污染被抽氣體，工藝氣體回收利用率高，尾氣處理方便；同時也避免了油氣和油煙等排放，環境污染小。避免了因潤滑油乳化，變質而出現的運行故障，提高了系統的穩定性，同時減少了泵潤滑油的損耗。

4）抽除可凝性氣體，真空度高

泵殼單獨使用，或者與羅茨泵，分子泵等組合成無油真空機組，作為機組前級泵使用。單泵進氣壓力在1pa至大氣壓力均能正常工作，抽氣效率高。泵腔內工作溫度達100℃以上，使可凝氣不易冷凝，泵腔直通，排氣口在泵腔底部，雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。

5）適用范圍廣

    泵工作腔以及螺桿轉子表面有防腐涂層（包含鍍鎳、哈氏合金、特氟龍等），可適應各種惡劣工況。