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羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個"8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實現高轉速運行。

羅茨真空泵的特點是:

啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100~1帕壓力范圍內有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來提高中+間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。

    性能參數

型號     風量（m?/min）  風壓(mmAq)  轉速(rpm)  功率(kw)  

RSV-40   0.44-2.27     -1000→-5000    950-1650   0.75-3.0  

RSV-50   0.67-3.52     -1000→-6000    950-1650   2.2-5.5  

RSV-65   1.62-4.84     -1000→-7000    900-1650   4-7.5  

RSV-80   2.15-8.92     -1000→-7000    900-1650   5.5-15.0  

RSV-100  4.32-12.82    -1000→-7000    900-1650   11-22.0

RSV-125  12.02-27.35   -1000→-8000    1050-1650  15-45.0  

RSV-150  15.97-35.18   -1000→-8000    1050-1650  18.5-45  

RSV-200  36.5-59.5     -1000→-8000    1050-1390  55-110.0  

RSV-250  52.0-71.0     -1000→-8000    1050-1400  75-132.0

用于行業

1.管路設備清理

2.工業燃燒爐供氧

3.造紙染整脫水

4.污水處理曝氣  

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