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Parker派克隔膜閥詳細資料，不愧為閥門老司機，穩定不翻車

930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導體行業中成為理想的應用。

NOVA  系列 (Catalog 4515)

? 通用型，使用壽命長，結構緊湊

? 多種手柄形式可選

? 用于減壓閥出口控制閥，氣體控制面板和分析取樣系統

NOVAAOP (Catalog 4515)

? 通用型，使用壽命長，結構緊湊

? 用于減壓閥出口控制，氣體控制面板和取樣分析系統

? 常開和常閉兩種形式可選

? 多種氣控執行壓力可選

手柄安全鎖設計 (Catalog 4505)

? 耐久金屬設計

? 使用現場可升級為標準手柄控制閥

? 可用于面板安裝

①. 派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性，高循環使用壽命和低顆粒發生，非常適用于UHP半導體應用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可最大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供可靠和免維護的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供卓越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean? 316L不銹鋼材質。 Vericlean? 是派克專有的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質的閥座，可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點，給予了930系列產品在入口壓力高達300 psig時極度的耐腐蝕性和最大循環使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。

930系列閥門上內部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以確保在苛刻的UHP應用中，保有其性能和可靠性。

②.市場：

? 半導體

? 分析實驗室

? 制藥

? 生物制藥

? 航空航天

? 工業

③.特點與優勢：

? 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）

? 高循環使用壽命（包括耐腐蝕性服務）

? 內部無彈簧和無螺紋設計可最大限度地減少顆粒產生和氣體截留

? 全壓力范圍使用:從真空到300 psig

? 內部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He

? 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He

? AOP驅動，額定壓力為75 psig

派克漢尼汾公司的Veriflo 工廠是生產高精度隔膜閥，減壓閥

和模塊式表面安裝元組件產品的全球領導者，產品專業應用于半導體行業晶圓制程中所需要的各種特種氣、液體的輸送和控制系統，同時也廣泛應用于石油化工、分析及實驗室

等領域。

Vespel® 是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注冊商標。

VeriClean? 是派克漢尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商標PEEK? 是威格斯公司（Victrex plc）的商標。

④.性能特點

閥體材料 非常清潔的 316L不銹鋼

隔膜材料 相當于埃爾吉洛伊非磁性合金（Elgiloy）

底座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(標準)，PEEK（聚醚醚酮樹脂）,聚酰亞胺(Vespel)

蓋帽材料 17-4不銹鋼

螺母材料 316L 不銹鋼

殼體材料 陽極氧化鋁

證明壓力 188 psig (13 barg) (AOPLP, G)

450 psig (31 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)

爆破壓力 375 psig (26 barg) (AOPLP, G)

900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)

流體容量(CV) Cv 0.3 (AOP), Cv 0.22 (杠桿)

內部泄漏率 ≤ 1 x 10?9 sccc He

外部泄漏率 ≤ 2 x 10?10 sccc He

內部容積（毫升） 2.64 cc

重量（磅） 1.75

重量（公斤） 0.8

開關類型 單刀單擲（SPST）

瞬時性動作，不可調

輸入電壓 1/4 amp 在115 VAC(常閉)（AOPLPLSC，AOPMPLSC）

1/2 amp在115 VAC(常開)（AOPLPLSO，AOPMPLSO）

導線長度（英寸） 7英寸長引線

布線 26 AWG，UL1061型，相當于雙絞線

線纜連接 1/8“ 鍍錫端口

最大入口壓力（PSIG) 125 psig (AOPLP, G) | 300 psig (AOPMP, K, L, I, M, S)

最大入口壓力（BARG) 8.6 barg (AOPLP, G) | 20.7 barg (AOPMP, K, L, I, M, S)

驅動壓力 75 psig 公稱（5 barg）

烘烤溫度(C) 在打開位置時耐溫121℃

烘烤溫度(F) 在打開位置時耐溫250°F

最高工作油溫（C) 66°C

最高工作油溫（F) 150°F

最低工作油溫（C) -40°C

最小工作溫度（F) -40°F

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儀表閥方面優勢大,價格好