CIQ氣動(dòng)超高真空蝶閥
CIQ氣動(dòng)超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經(jīng)過兩次
動(dòng)作完成關(guān)閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥門的壓強(qiáng)范圍可拓寬到2x105-1.3-7x10Pa.適用介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術(shù)性能
適用范圍：
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2x105~6.7-7x10Pa
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閥門漏率：
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≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向)
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適用溫度：
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-30~+150℃
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安裝狀態(tài)：
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任意
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安裝方向：
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任意
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開啟壓差：
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2x105Pa.
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開門角度：
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0-90°
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啟閉時(shí)間：
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3S
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主要零件材料
閥體、蝶門、閥桿：不銹鋼
密封件：氟橡膠，波紋管（軸封）
外形及連接尺寸(mm)（GB6070）
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型號(hào)
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DN(mm)
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D
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Do
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D1
|
B
|
H
|
B1
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n-Mc
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CIQ-63
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63
|
130
|
110
|
68
|
40
|
235
|
62
|
4-M8
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CIQ-80
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80
|
145
|
125
|
85
|
40
|
240
|
62
|
8-M8
|
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CIQ-100
|
100
|
165
|
145
|
105
|
40
|
240
|
62
|
8-M8
|
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CIQ-160
|
160
|
225
|
200
|
165
|
56
|
310
|
75
|
8-M10
|
|
CIQ-200
|
200
|
285
|
260
|
208
|
70
|
360
|
75
|
12-M10
|
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CIQ-250
|
250
|
335
|
310
|
258
|
74
|
396
|
75
|
12-M10
|
|
CIQ-320
|
320
|
425
|
395
|
328
|
94
|
488
|
94
|
12-M12
|
|
CIQ-400
|
400
|
510
|
480
|
410
|
106
|
538
|
114
|
16-M12
|
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