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反滲透超純水設備將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI組件中將少量的EDI單元間用網狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰、陽離子分別穿過陰、陽離子交換膜進入到濃水室而在淡水室中除去。而通過濃水室的水將離子帶出系統，成為濃水。

反滲透超純水設備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以達18 MΩ.cm(25℃)，但是根據去離子水用途和系統配置設置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。

反滲透超純水設備在生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等除去，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術除去;水中的細菌，目前多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法除去;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

為達到用戶生產工藝用水需求，達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的污染，增加設備的使用壽命、減小操作人員的維護工作量。在工藝設計上，源水經多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉型陽離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）裝置等。系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，做到了無人職守，由PLC控制系統完成包括阻垢劑計量泵、高壓泵、電動慢開門的順序啟動和停止；停運時反滲透裝置的自動低壓沖洗；運行過程中低壓壓力開關與系統的連鎖運行；各轉動設備的運行監測和報警等。

反滲透超純水設備特點：

1.整體化程度高,易于擴展,增加膜數量就增加處理量；
2.自動化程度高,遇故障自停,具有自動保護功能；
3.膜組件為復合膜卷制而成,表現出高的溶質分離率和透過速率；
4.利用率高,運行成本低；
5.結構合理,占地面積少；
6.膜保護系統,在設備關機,淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈,增加膜壽命；
7.系統無易損部件,不要大量維修,運行長期可行；

8.設備設計有膜清洗系統用阻垢系統。