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超高真空光柵
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TONiC UHV
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TONiC UHV直線光柵讀數頭與雷尼紹帶有IN-TRAC?光學零位的高精度直線柵尺兼容，包括RELM ZeroMet?和RSLM不銹鋼因鋼柵尺
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這些光柵系統在超高真空條件下提供保真度非常高的位置反饋
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概述
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TONiC UHV直線光柵讀數頭與雷尼紹帶有IN-TRAC?光學零位的高精度直線柵尺兼容，包括RELM ZeroMet和RSLM不銹鋼因鋼柵尺。這些光柵系統在超高真空條件下提供保真度非常高的位置反饋。TONiC UHV直線光柵在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求極高的半導體和科學應用。
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高性能TONiC增量式讀數頭
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所有TONiC讀數頭均使用最新一代雷尼紹光學濾波系統，經過優化，噪聲超低。包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏移量控制 (AOC) 在內的動態信號調整進一步增強了先進的光學系統設計。因此，輸出信號具有無與倫比的信號純度，典型的細分誤差 (SDE) 為±30 nm，噪聲（抖動）達0.51 nm RMS，分辨率達1 nm。
所有TONiC柵尺均包括直接嵌入到增益通道中的獨特IN-TRAC光學零位，只需單擊按鈕即可以方便地實現自動電子調相 — 因此，這一功能也可遠程執行。IN-TRAC光學零位還具有在所有速度和整個工作溫度范圍內保持相位一致的優點。
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高精度真空兼容型柵尺
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RELM ZeroMet因鋼柵尺在最長1 130 mm的距離內，熱膨脹系數為“零”，總體精度可確保優于±1 ?m。RSLM不銹鋼柵尺集超高的精度與鋼帶柵尺的便利性于一體，有多種長度可供選擇，最長可達10 mm，是測量精度要求嚴格的較長軸測量的理想解決方案。
TONiC UHV讀數頭由精選的低出氣率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔
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殘留氣體分析 (RGA) 測試結果
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通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。典型應用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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重要事項！ TONiC接口應該置于UHV環境之外。
更多相關詳細資料，歡迎致電：010-84450370/13520118840，QQ：649909728，聯系人：徐濤
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