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晶圓研磨機-高精度減薄工藝研磨拋光設備半導體工藝設備
晶圓研磨機-高精度減薄工藝研磨拋光設備半導體工藝設備 價格:9999.00  元(人民幣) 產地:北京北京
最少起訂量:1 發貨地:北京北京
上架時間:2025-11-12 22:10:09 瀏覽量:24
北京歐科天遠科技有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:私營獨資企業
所屬行業:檢測儀器 主要客戶:高校,研究所,航空,航天,汽車行業等
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聯系人:趙青 (小姐) 手機:15911159017
電話: 傳真:
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詳細介紹

產品參數
品牌艾姆希
是否支持加工定制
系列GNAD 400
電源220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ
環境溫度20°C -35°C
環境濕度< 80
晶圓尺寸6 inch及以下
工作盤直徑300mm \/ 420mm
擺臂驅動轉速0-100rpm \/ 0-120rpm
盤轉速0-100rpm \/ 0-120rpm
定時時間0-10小時
進料通道≤ 3
去除厚度納米級別
工位≤4
可售賣地全國
型號GNAD E


GNAD系列 半導體材料精密研磨拋光機
? 整機防腐,獨立可移動式觸摸操控系統;
? 多通道進料系統;
? 夾具可在線監測樣品的去除量,精度可實現 0.1um。壓力的范圍可實現 0-3.5 公斤。并可根據用戶工藝要求定制各種角度附件等非標夾 具附件,實現對非標形狀樣品的拋光及角度拋光。
? 工藝參數存儲以及定時功能;
? 真空系統通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據不同工藝要求,真空系統可以直接吸附樣品或者直接吸附貼 有樣品的石英襯底片。
? 設備具有設備定時功能,可連續工作運行時間 10小時。同時,設備具有預設工作時間功能,預設時間達到,設備自動停機。






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