| 產品參數 |
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| 品牌 | MCF |
| 產地 | 德國 |
| 功能用途 | 晶圓研磨拋光 |
| 適用范圍 | MEMS 半導體器件 半導體襯底 封裝 |
| 電源 | 220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ |
| 環境溫度 | 20°C ± 5°C |
| 環境濕度 | < 80 |
| 晶圓尺寸 | 4” x 1\/2\/3 6” x 1\/2 |
| 工作盤直徑 | 300mm \/ 420mm |
| 擺臂驅動轉速 | 0-100rpm \/ 0-120rpm |
| 盤轉速 | 0-100rpm \/ 0-120rpm |
| 定時時間 | 0-10小時 |
| 進料通道 | ≥ 2 |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 材質 | 整機防腐 |
| 類型 | 立式磨拋機 |
| 型號 | GNAD600 L&P | |
簡介
GNAD系列是先進一代的精密研磨和拋光機，為材料加工應用提供了顯著的改進和優勢，包括Si，SiC，GaN，InP，GaAs，CZT和MCT等。
所有功能均可由獨立的可拆卸控制系統控制。根據工藝的具體要求，可拆卸控制系統可以選擇WIFI/藍牙或有線模式來控制機器。
● 獨立的遠程控制系統
● 通過一個控制系統進行多機控制 ● 自動溫度和冷卻控制
● 多進料系統
● 自動清潔控制系統 SH 系列精密拋光夾具用于在 GNAD 機器上研磨和/或拋光時保持形狀各異的樣品。
帶刻度盤的夾具可以指示庫存去除，精度數據為1微米。
夾具自動旋轉控制系統可以驅動和控制夾具轉速從0-100rpm。掃描范圍控制在0-100，此功能可以減少拋光時間，提高去除率和最終的粗糙度和平坦度。
研磨/拋光板的基本操作由主驅動部分控制。從這里設置板速并顯示在LCD上。這在0到120 rpm之間是無限可變的，以確保適合所選過程的速度。
自動板材平整度控制系統持續監控板材形狀，并自動糾正與操作員設置的所需形狀的任何偏差。
自動清潔控制系統將自動清潔板和可拆卸滴水盤，時間和進料將受到控制。主驅動器面板上的計時器可設置為運行機器長達 10 小時。操作員的持續監督是不必要的。它將為操作員提供更多的自由度，因為在選定的時間或厚度之后，加工將自動停止。
技術參數
電源： 250V、10A / 110V、10A
晶圓產能： 6 英寸/152 毫米 x 1、6 英寸/152 毫米 x 2、6 英寸/152 毫米 x 3
板材直徑： 300毫米、350毫米、420毫米
板速度： 0-120轉/分
夾具轉速： 0-120轉/分
夾具掃描頻率： 0-30分鐘
工作時間： 0-10 小時
磨料輸送： 1/2/3/4/5/6 進紙通道
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