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　　氣動執行機構的主要缺點就是：響應較慢，控制精度欠佳，抗偏離能力較差，這是因為氣體的可壓縮性，尤其是使用大的氣動執行機構時，空氣填滿氣缸和排空需要時間。但這應該不成問題，因為許多工況中不要求高度的控制精度和極快速的響應以及抗偏離能力。

　　電動執行器的抗偏離能力是很好的，輸出的推力或力矩基本上是恒定的，可以很好的克服介質的不平衡力，達到對工藝參數的準確控制，所以控制精度比氣動執行器要高。如果配用伺服放大器，可以很容易地實現正反作用的互換，也可以輕松設定斷信號閥位狀態（保持/全開/全關），而故障時，一定停留在原位，這是氣動執行器所作不到，氣動執行器必須借助于一套組合保護系統來實現保位。

　　氣動執行機構：現今大多數工控場合所用執行器都是氣動執行機構，因為用氣源做動力，相較之下，比電動和液動要經濟實惠，且結構簡單，易于掌握和維護。

　　電動執行機構：電動執行機構主要應用于動力廠或核動力廠，因為在高壓水系統需要一個平滑、穩定和緩慢的過程。電動執行機構的主要優點就是高度的穩定和用戶可應用的恒定的推力，大執行器產生的推力可高達225000kgf，能達到這么大推力的只有液動執行器，但液動執行器造價要比電動高很多。