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掃描讀數(shù)頭AE LS 186C訂貨號658492-01不帶電纜

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現(xiàn)在Heidenhain玻璃透射光柵和金屬反射光柵的柵距只采用20μm和40μm，對衍射光柵柵距采用4μm和8μm，（1nm光柵除外）光學二倍頻后信號周期為2μm和4μm。Heidenhain要求開式光柵一個信號周期的位置偏差僅為±1，閉式光柵僅為±2，光柵信號周期及位置偏差見表2

表2??

???--------------------------------------------------------------------?????光柵類別?信號周期（μm）?一個信號周期內(nèi)的位置偏差（μm）??

???--------------------------------------------------------------------?????幾何光柵?20和40?開啟式光柵尺±1，即±0.2~±0.4?????封閉式光柵尺±2，即±0.4~±0.8??

???--------------------------------------------------------------------?????衍射光柵?2和4?開啟式光柵尺±1，即±0.02~±0.04?????封閉式光柵尺±2，即±0.02~±0.08??

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信號的處理及柵距的細分?????光柵的測量是將一個周期內(nèi)的式測量和周期外的增量式測量結(jié)合在一起，也就是說在柵距的一個周期內(nèi)將柵距細分后進行的測量，超過周期的量程則用連續(xù)的增量式測量。為了 測量的精度，除了對光柵的刻劃質(zhì)量和運動精度有要求外，還必須對光柵的莫爾條紋信號的質(zhì)量有要求，因為這影響電子細分的精度，也就是影響光柵測量信號的細分數(shù)（倍頻數(shù)）和測量分辨力（測量步距）。柵距的細分數(shù)和準確性也影響光柵測量系統(tǒng)的準確度和測量步距。對莫爾條紋信號質(zhì)量的要求主要是信號的正弦性和正交性要好信號直流電平漂移要小。對讀數(shù)頭中的光電轉(zhuǎn)換電路和后續(xù)的數(shù)字化插補電路要求頻率特性好，才能 測量速度大。

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在80年代后期柵距為10μm的透射光柵LID351（分辨力為0.05μm）其間隙要求就比較嚴格為（0.1±0.015）mm。由于采用了新的干涉測量原理對納米級的衍射光柵安裝公差就放得比較寬，例如指示光柵和標尺光柵之間的間隙和平行度都很寬（表1所示）。只有衍射光柵LIP372的柵距是0.512μm，經(jīng)光學倍頻后信號周期為0.128μm，其他柵距均為8μm和4μm，經(jīng)光學二倍頻后得到的信號周期為4μm和2μm，其分辨力為5nm和50nm，系統(tǒng)準確度為±0.5μm和±1μm，速度為30m/min。LIF系列柵距是8μm，分辨力0.1μm，準確度±1μm，速度