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德國(guó)布魯克Bruker表面輪廓儀系統(tǒng)臺(tái)階儀DektakXTL形貌分析
德國(guó)布魯克Bruker表面輪廓儀系統(tǒng)臺(tái)階儀DektakXTL形貌分析 價(jià)格:1300000.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海上海
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
是否進(jìn)口
原產(chǎn)國(guó)德國(guó)
產(chǎn)品型號(hào)DektakXTL
測(cè)量功能表面輪廓測(cè)量,形貌分析
臺(tái)階高度重現(xiàn)性<5?
1o在1um臺(tái)階上
探針傳感器低慣量傳感器(LIS 3)
探針壓力0.03mg至15mg
低作用力使用N-Lite 低作用力傳感器0.03至15mg
探針選項(xiàng)50nm至25um
樣品X/Y載物臺(tái)電動(dòng)高精度編碼300毫米XY工作臺(tái)
樣品r-0工作臺(tái)360°自動(dòng)連續(xù)旋轉(zhuǎn)
視場(chǎng)范圍側(cè)視攝像頭2.5mmx4.25mm;俯拍攝像頭11.5mmx15.5mm
軟件Vision64
軟件應(yīng)用應(yīng)力測(cè)量、3D掃描、臺(tái)階探測(cè)等
軟件選項(xiàng)自動(dòng)圖形識(shí)別、高級(jí)軟件界面
隔振高性能隔振,無(wú)源氣動(dòng)空氣隔離器
掃描長(zhǎng)度范圍300mm
最大樣品厚度50mm
最大晶片尺寸300mm
最大樣品尺寸350mm
垂直范圍1mm
輸入功率100到240VAC,50到60HZ
溫度范圍20°到25°C
品牌Bruker








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