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JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SSCR3090S

	價格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-10-01 02:44:21	瀏覽量：35
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經(jīng)營模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機:15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	JEL
品名	機械手臂
軸數(shù)	3軸
英文名	wafer robot
產(chǎn)地	中國
加工定制	否
機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長	90mm
晶圓固定方式	真空吸附式，下托式
使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達距離	175mm
升降軸最大行程	150mm
可搬運質(zhì)量	0.1kg
可售賣地	北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型	圓柱坐標(biāo)型
型號	SSCR3090S

JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂特點：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現(xiàn)設(shè)備的小型化
機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸使用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指

小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達距離 175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 150mm
可搬運質(zhì)量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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