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半導(dǎo)體機(jī)械手waferrobot_5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

	價(jià)格：\u9762\u8bae 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時(shí)間：2024-06-13 17:17:29	瀏覽量：51
	上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
	經(jīng)營(yíng)模式：貿(mào)易公司	公司類型：私營(yíng)股份有限公司
	所屬行業(yè)：綜合	主要客戶：華東地區(qū)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳靜靜 (小姐)	手機(jī):15026865822
電話:	傳真:
郵箱:lee.li@hapoin.com	地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號(hào)蓮花大廈3樓B座

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	JEL
品名	5軸機(jī)械手臂
英文名	wafer robot
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)	210mm
280mm
產(chǎn)地	中國(guó)
手臂	單臂
晶圓固定方式	真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離	553mm
升降軸最大行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	4kg
使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
是否進(jìn)口	否
軸數(shù)	5
可售賣地	北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型	自動(dòng)
型號(hào)	GTCR5280-300-AM

JEL GTCR5280-300-AM
5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂
——適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTCR5280-300-AM特點(diǎn)：
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm
機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）
或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）
雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
通過S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化
能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTCR5280-300-AM基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達(dá)距離 553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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