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JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S
JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產地:上海上海
最少起訂量:1 發貨地:上海上海
上架時間:2024-04-29 10:31:37 瀏覽量:106
上海衡鵬企業發展有限公司  
經營模式:貿易公司 公司類型:私營股份有限公司
所屬行業:綜合 主要客戶:華東地區
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詳細介紹

產品參數
品牌JEL
品名機械手臂
軸數3軸
英文名wafer robot
產地中國
加工定制
機械手臂標準臂長90mm
晶圓固定方式真空吸附式,下托式
使用環境潔凈間內的大氣環境
手臂單臂
到達距離175mm
升降軸最大行程150mm
可搬運質量0.1kg
可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型圓柱坐標型
型號SSCR3090S




JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點:
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,
有利于實現設備的小型化
機械手臂標準臂長:90mm
同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
配備動作監視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸使用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數:
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 175mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程 150mm
可搬運質量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準)


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