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jel機械臂\/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S小徑晶圓用
jel機械臂\/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S小徑晶圓用 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產地:上海上海
最少起訂量:1 發貨地:上海上海
上架時間:2024-03-09 22:54:39 瀏覽量:47
上海衡鵬企業發展有限公司  
經營模式:貿易公司 公司類型:私營股份有限公司
所屬行業:綜合 主要客戶:華東地區
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詳細介紹

產品參數
jel機械臂/4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S 小徑晶圓用 品牌JEL
品名機械臂
軸數4軸
英文名jel robot
產地中國
控制通訊方式RS232C及并口I/O方式
晶圓固定方式真空吸附式,下托式,邊緣夾持式
手指材質CFRP(碳纖維)
鋁合金
使用環境潔凈間內的大氣環境
手臂單臂
到達距離195mm
升降軸最大行程200mm / 300mm
可搬運質量0.5kg
可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
類型圓柱坐標型
型號SCR3100S




jel機械臂/小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手SCR3100S特點:
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列
適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,
有利于實現設備的小型化
提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝0.1μm級過濾器
適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
配備動作監視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式
手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供最優的手指


SCR3100S小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數:
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 195mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程 200mm / 300mm
可搬運質量 0.5kg (手臂第3關節處基準)


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