| 產(chǎn)品參數(shù) | | 品牌 | JEL | | 品名 | 晶圓搬運(yùn)用機(jī)器人 | | 別名 | 水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂 | | 產(chǎn)地 | 中國(guó) | | 軸數(shù) | 4軸 | | 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | | 手臂 | 單臂 | | 到達(dá)距離 | 553mm | | 升降軸最大行程 | 300mm | | 可搬運(yùn)質(zhì)量 | 小于4kg | | 加工定制 | 否 | | 英文名 | wafer transfer robot | | 固定方式 | 底座固定方式，或法蘭固定方式 | | 可售賣(mài)地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | | 類(lèi)型 | 超潔凈間用多軸型 | | 型號(hào) | GCR4280-300-AM | | .jpg)
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晶圓搬運(yùn)用機(jī)器人GCR4280-300-AM
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：
超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列
適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運(yùn)
機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)3個(gè)FOUP
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維), 鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi)，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指
產(chǎn)品型號(hào)列表
產(chǎn)品型號(hào) 升降軸最大行程
GCR4280-300-AM 300mm
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GCR4280基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達(dá)距離 553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 300mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 小于4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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